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臺(tái)碩檢測(cè)設(shè)備（蘇州）有限公司
聯(lián)系人：李經(jīng)理
手機(jī)號(hào)：186-1668-7110 18616687110
網(wǎng)址：http://www.taso1.com/
郵箱：shasha.li-sh@taso1718.com
地址：蘇州市吳中區(qū)橫涇街道天鵝蕩路2659號(hào)2號(hào)廠房
度高：最小間距分辨率高達(dá)O.OOlpim
? 800pm\5mm\20mm大量程傳感器，測(cè)力小精度高、數(shù)據(jù)重復(fù)性好
?無導(dǎo)頭式天然鉆石觸針，使用范圍廣，操作更方便
?軟件可自動(dòng)校正精度、確保儀器在線保持高精度工作狀態(tài)
o8)產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格 Product specificatiions
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型號(hào) |
TS-R100 |
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X軸（橫導(dǎo)） |
lOOmm,直線度=0.8nm/l00mm |
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測(cè)量范圍 zi軸（傳感） |
20mm |
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Z軸位柱） |
400mm |
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線性精度 |
W± (0.8+0.2L/100) pm |
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Zl軸精度 |
W （0.8+|0.2H|/l00） gm； （L=X軸移動(dòng)導(dǎo)軌距離，H=Zl軸方向測(cè)量高度） |
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測(cè)量精度 殘值噪聲 |
W0.005um |
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示值誤差 |
W±(5nm+0.lA) |
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重復(fù)性 |
W±3% |
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傳感器 |
光柵傳感器，分辨率0.00l|im |
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評(píng)定長(zhǎng)度 |
入 cX3、4、5、6、7
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